EnviroESCA (XPS)

Enviroesca - phân tích bề mặt hoá học dưới điều kiện môi trường 

EnviroESCA có cách tiếp cận mô-đun độc đáo đối với thiết kế hệ thống, kết hợp ưu điểm của một số hệ thống ESCA chuyên dụng được tích hợp trong một cấu trúc duy nhất. Nó có thể thích ứng để phù hợp với các điều kiện thí nghiệm khác nhau thông qua việc sử dụng các mô-đun môi trường mẫu chuyên dụng có thể hoán đổi cho nhau. Như trong bất kỳ thiết bị ESCA thông thường nào, máy phân tích năng lượng điện tử và nguồn tia X là những thành phần chính của EnviroESCA. Nhưng kết hợp với các hệ thống xử lý khí và chân không tự động, tiên tiến của SPECS, các điều kiện làm việc đáng tin cậy trong phạm vi áp suất từ chân không cực cao đến hàng trăm mbar hiện có thể thực hiện được. Sự kết hợp này cho phép người dùng nghiên cứu ngay cả những mẫu khó thực hiện nhất từng không tương thích với các thế hệ thiết bị ESCA trước. Hơn nữa, môi trường không khí khi bị ion hóa cung cấp các ion và điện tử năng lượng thấp, dẫn đến một quá trình tự bù điện tích được gọi là là bù điện tích môi trường. Do đó, gần như mọi mẫu cách điện đều có thể được mô tả mà không cần các thành phần bổ sung

Môi trường chứa mẫu bên trong EnviroESCA được tạo ra tạo điều kiện thuận lợi và phù hợp nhất trong việc mô tả các đặc tính của các vật liệu có thể không tương thích với UHV: Yêu cầu nghiêm ngặt về UHV của XPS thông thường được bỏ qua bên trong trong EnviroESCA. Các mô-đun môi trường mẫu chuyên dụng được cung cấp dưới dạng các đơn vị thông minh cho các loại mẫu và ứng dụng khác nhau. Các mô-đun được trang bị tất cả các thành phần liên quan như bàn mẫu, buồng làm sạch plasma và xử lý khí.Tất cả những yêu cầu của khách hàng đều có thể dễ dàng thực hiện đồng thời được thời gian được rút ngắn một cách tối đa và chỉ mất trong vài phút.